真空ポンプ（高真空）

アルバックの真空ポンプは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。ターボ分子ポンプやクライオポンプ、スパッタイオンポンプなど、あらゆる領域・条件・用途向けの真空ポンプをラインアップしています。

ポンプ種類

すべてクライオポンプスーパートラップターボ分子ポンプスパッタイオンポンプ油拡散ポンプ排気ユニット高真空ポンプ油

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クライオポンプ
スーパートラップ
ターボ分子ポンプ
スパッタイオンポンプ
油拡散ポンプ
排気ユニット
高真空ポンプ油

到達圧力

※下記表は横にスクロールしてご覧ください。

設定なし

1.0×10^-10

1.0×10^-8

1.0×10^-6

1.0×10^-4

1.0×10^-2

1.0

1.0×10²

1.0×10³

（単位）	Pa

排気速度

※下記表は横にスクロールしてご覧ください。

0

100

500

2000

3000

4000

5000

10000

50000

70000

（単位）	L/s

製品種別

フランジサイズ

1 Inch（25A） 1・1/2Inch（40A） 2 Inch（50A） 2.1 Inch（65A） 4 Inch（100A） 6 Inch（150A） 8 Inch（200A） 10 Inch（250A） 12 Inch（300A） 14 Inch（350A） 16 Inch（400A） 20 Inch（500A） 22 Inch（550A） 30 Inch（750A） 36 Inch（900A） 52 Inch（1300A）

ブランド

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製品情報